将发烟硫酸法将硫黄(或硫铁矿或其他含硫物质)与干燥空气在焚硫炉内燃烧，生成高浓度二氧化硫气体，经催化氧化生成三氧化硫，用硫酸吸收制得发烟硫酸，再经蒸馏得到三氧化硫气体，经冷却、压缩液化，制得液体三氧化硫成品。

三氧化硫是一种硫的氧化物，分子式为SO₃，有类似二氧化硫的气味，溶于水中反应成硫酸。它的气体形式是一种严重的污染物，是形成酸雨的主要来源之一。